Die Anforderung an eine Präzision von 0,1 °C In den Wafernfabriken kann man mit dem thermischen Budget nicht herumspielen – es ist fest vorgegeben....

In der Fertigungshalle kann ein schwankender Setpunkt während des Soft-Baking- oder Hard-Baking-Prozesses dazu führen, dass der gesamte...