In der Fertigungshalle kann ein schwankender Setpunkt während des Soft-Baking- oder Hard-Baking-Prozesses dazu führen, dass der gesamte Produktionsprozess fehlschlägt. Die Profilstrukturen des Fotoleiters verschlechtern sich, die Kontrolle über die Dicke des Films wird schwieriger und die Selektivität bei der Ätzung ist nicht mehr gewährleistet. Wenn die Lampe nicht richtig funktioniert, ist bereits vor Ende des Prozesses das thermische Gleichgewicht gestört.
Was wirklich wichtig ist
Die von uns verwendeten Mattson-RTP-Lampen nutzen kurzwellige Halogenemitter in einer Quarzkuppel. Diese werden ausgewählt, weil sie eine schnelle Temperaturanpassung sowie eine hohe Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche ermöglichen. Die Stabilität der Temperatur liegt bei ±0,1°C – dadurch ist die Energie, die auf den Fotoleiter wirkt, bei jedem Prozessschritt gleichbleibend. Die Lampen sind für Reinräume der Klassen 1–100 konzipiert; ihr Design sorgt dafür, dass Verunreinigungen vermieden werden und somit die Qualität hoch bleibt. Man kann mit einer konstanten Leistung über 5.000 Stunden rechnen – dabei ist die Lichtstärke kaum abnehmend und die Wartungsintervalle sind vorhersehbar.
Warum das bei der Lithografie und beim Verarbeiten von Fotoleitern wichtig ist
Die Genauigkeit der Temperatur bestimmt die Viskosität, Dicke und Haftung des Fotoleiters. Wenn die Lampe stabil funktioniert, verbessert sich die Wiederholgenauigkeit beim Soft-Baking, das Hard-Baking bleibt unter Kontrolle und die Linienbreiten nach der Ätzung bleiben konstant. Dadurch entstehen weniger Ausschussprodukte, weniger Nacharbeiten und die Prozesszeiten bleiben konstant. Zudem sinkt der Energieverbrauch, da die Lampe schnell den festgelegten Wert erreicht und diesen hält – dadurch wird die thermische Belastung für den Behälter sowie das Kühlsystem verringert.
Einige praktische Hinweise
Die Installation ist einfach – doch die Lampe muss zur Geometrie des Reflektors im Behälter sowie zur jeweiligen Variante der Mattson-Lampe passen. Überprüfen Sie unbedingt den Anschlusstyp, die Länge des Lichtbogens sowie die Ausrichtung des Kühlsystems. Nach dem Austausch der Lampe sollte der Pyrometer neu kalibriert werden, damit die Temperaturgenauigkeit erhalten bleibt.
Wenn die Spannung außerhalb des zulässigen Bereichs liegt, wird die Lebensdauer der Lampe beeinträchtigt. Halten Sie die Spannung innerhalb der Toleranzgrenzen, dann funktioniert die Lampe wie vorgesehen.