Die Anforderung an eine Präzision von 0,1 °C
In den Wafernfabriken kann man mit dem thermischen Budget nicht herumspielen – es ist fest vorgegeben. Deshalb haben wir unsere Alibaba RTP-Lampen so konstruiert, dass die Temperatur innerhalb eines sehr engen Bereichs von 0,1 °C gehalten wird. Eine solche Präzision bedeutet einen reibungslosen Betrieb – und vermeidet teure Fehler.
Diese Lampen wurden für den schnellen thermischen Prozess entwickelt. Sie liefern genau das gewünschte Temperaturprofil, mit schnellen Anlaufzeiten und höchster Gleichmäßigkeit – ohne Überhitzung oder Unregelmäßigkeiten. Immer wieder zuverlässige Leistung.
Technische Details: Leistung, Spannung und Abmessungen
Wir haben viel Leistung in einem kleinen Raum untergebracht. Die 400-V-Eingangsspannung ermöglicht es uns, hohe Leistungen über einen 300-mm-Rohr zu liefern, während der Stromfluss kontrolliert bleibt. Dadurch werden kleinere Leiter benötigt, und die Belastung der Anschlüsse sinkt.
Bei 2500 W steigt die Temperatur schnell an – dadurch wird jede Prozessschritte verkürzt. Die Länge von 300 mm passt perfekt zu den Standard-RTP-Kammern – somit muss nichts neu konstruiert werden.
Aber es gibt auch Nachteile: So much Power in einem so kleinen Raum bedeutet, dass die Kühlung sowie die elektrischen Anschlüsse besonders robust sein müssen. Planen Sie daher eine gute Luftzirkulation sowie Anschlüsse, die dieser Belastung standhalten können.
Material, Design und Anschlüsse
Im Inneren befindet sich ein Quarzkörper mit Halogenvorrichtung. Die Halogenlampe hält den Filament sauber und stabil, wodurch Verfärbungen vermieden werden und die Lebensdauer der Lampe verlängert wird. Eine spezielle reflektierende Beschichtung lenkt die Infrarotwärme genau dorthin, wo sie benötigt wird – nämlich auf die Wafer – sodass weniger Energie verschwendet wird.
Der R7s-Anschluss ist ein kompaktes, bewährtes Design, das der Hitze standhält und eine stabile Verbindung gewährleistet. Dadurch ist der Austausch einfach möglich, das Risiko von Hotspots wird reduziert, und die Lampe bleibt perfekt im Reflektor ausgerichtet.
Anwendung und Vorteile für Ingenieure
Diese Lampen eignen sich hervorragend für den Einsatz in Halbleiterproduktionen, wo Temperaturkontrolle und Zuverlässigkeit entscheidend sind. Es herrscht eine hohe Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche, der Anlaufzeit wird verringert, und die Ergebnisse sind jedes Mal reproduzierbar.
Die Installation ist einfach. Der R7s-Anschluss sowie die Standardabmessungen sorgen dafür, dass die Lampe problemlos eingebaut werden kann. Das Wartungsteam kann die Lampe schnell austauschen, wodurch Ausfallzeiten minimiert werden.
Was den Preis angeht: Wir liefern Hochleistungen – und das zu attraktiven Konditionen, da alle Komponenten lokal hergestellt werden. So erhalten Sie eine Präzision auf 0,1 °C – ohne Importzuschläge und ohne Kompromisse bei Materialien oder Design.
Wenn Ihre Arbeit von RTP-Tools abhängt, dann ist diese Lampe die richtige Wahl. Stabile Wärmeentwicklung, einfache Wartung – und vorhersehbare Kosten.