Mehr Wärme genau da, wo sie wirklich gebraucht wird
Wenn man Wafer trocknet, möchte man keine Energie verschwenden. Das ist ganz einfach: Man möchte, dass jede Einheit an Infrarotenergie auf dem Substrat ankommt – und nicht in den Gehäusekörper der Maschine gelangt und so den Raum erwärmt.
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminium – natürlich reflektiert dieses Material etwas Wärme. Doch wenn man wirklich hohe Effekte bei Kurz- und Mittelwellen-Infrarotstrahlung erreichen möchte, ist Gold die beste Wahl. Die Reflektionsrate liegt dabei bei über 98 %.
Warum das wichtig ist:
Lampen sind unpraktisch – sie strahlen Energie in alle Richtungen ab, auch dorthin, wo sie nicht benötigt wird. Ein mit Gold überzogener Reflektor fängt diese Energie wieder auf und leitet sie direkt zurück auf das Wafer.
Es handelt sich dabei nicht nur um eine allgemeine Steigerung der Effizienz – tatsächlich erhöht man damit die Anzahl der Watt pro Quadratzentimeter, die auf das Wafer treffen. Das Beste daran: Man kann die Gesamtleistung der Lampe verringern, während das Wafer weiterhin die gleiche Temperatur behält.
Aber es gibt einen Haken:
Wir entwickeln diese Systeme dafür, in kleinen Räumen eingesetzt zu werden. Zwar steigt die Wärmedichte stark an, doch das belastet das Gehäuse stark. Wenn man die reflektierte Energie erhöht, muss man sicherstellen, dass die Kühllüfter oder Wasserkühlungssysteme mitkommen können. Wenn man die Wärmezunahme um die Lampen herum ignoriert, können die Verbindungen beschädigt werden – und die Lampen gehen viel schneller kaputt, als eigentlich nötig wäre.
Wie das in der Praxis aussieht:
Sobald man ein mit Gold überzogenes System einsetzt, merkt man sofort den Unterschied in der Zeit, die zum Erreichen der gewünschten Temperatur benötigt wird. Es geht wirklich schnell.
Da die Energie so konzentriert ist, verbringt das Wafer weniger Zeit in der Heizzone. Dadurch wird das Problem vermieden, dass die Ränder des Wafers überhitzt werden, während das Zentrum noch Zeit braucht, um mitzuhalten.
Ein Tipp: Halten Sie das System sauber.
Ich kann das genug betonen: Selbst ein kleiner Staubkorn oder Rückstände durch Ausgasungen auf der Goldoberfläche können die Reflektionsrate stark beeinträchtigen. Plötzlich entstehen heiße Stellen auf dem Wafer – und das System funktioniert nicht mehr richtig. Halten Sie ein striktes Reinigungsprogramm ein – dann funktioniert Ihr System perfekt.