گرمایش دقیق با امواج مادون قرمز: چرا گرمای هدفمند تفاوت بزرگی در فرآیند پردازش ویفرها ایجاد میکند؟
حقیقت مربوط به فرآیند پردازش ویفرها این است که رساندن گرما دقیقاً به جایی که نیاز است و نه در جاهای دیگر، بسیار مهم است.
ما سیستمهای گرمایشی مادون قرمز را با همین هدف طراحی کردهایم. گرمایش گسترده به روش سنتی؟ مانند استفاده از لوله آب برای پر کردن یک لیوان است؛ در این روش انرژی هدر میرود و همه چیز در اطراف نیز گرم میشود.
لامپهای مادون قرمز ما این مشکل را برطرف میکنند؛ زیرا گرما را مستقیماً روی ویفر منتقل میکنند، نه روی دیوارههای محفظه.
قدرت پشت گرما
بیایید وارد جزئیات شویم، اما با واقعبینی. ما این لامپها را برای کاربردهای صنعتی طراحی کردهایم، نه برای آزمایشات آزمایشگاهی.
این لامپها با ولتاژ ۴۰۰ ولت کار میکنند؛ این امر باعث میشود حتی در شرایطی که نیاز به گرما افزایش مییابد، عملکرد لامپ پایدار باقی بماند. با توان ۲۵۰۰ وات، میتوانید چگالی گرمایی مناسبی داشته باشید تا دما به سرعت افزایش یابد.
طول فعال لامپ ۳۰۰ میلیمتر است؛ این طول به طور عمدی انتخاب شده است تا با ابزارهای استاندارد برای پردازش ویفرها سازگار باشد، بدون اینکه نیاز به بازطراحی محفظه باشد. لامپ در نزدیکی هدف قرار میگیرد؛ بنابراین گرمای کمتری از بین میرود.
ساختار لامپ: کوارتز، لایههای پوششی و سازگاری مناسب
بدنه لامپ از کوارتز ساخته شده است؛ چرا؟ زیرا میتواند تغییرات ناگهانی دما را بدون شکستن تحمل کند، و اجازه میدهد نور مادون قرمز به راحتی از آن عبور کند.
همچنین، لایههای پوششی نیز وجود دارد؛ این لایهها باعث میشوند نور در محدوده مورد نظر تولید شود و انرژی بیشتری به سطح ویفر منتقل شود.
برای نصب، از تماسهای نوع R7 استفاده میکنیم؛ این تماسها استاندارد صنعتی هستند و میتوانند جریان بالا را تحمل کنند؛ همچنین تعویض آنها نیز بسیار آسان است.
طراحی هدفمند لامپ، در کنار استفاده از بازتابنده، باعث میشود گرما فقط به جلو حرکت کند؛ نه به سمت جانبها یا عقب.
تجربه استفاده در شرایط واقعی
در فرآیند پردازش ویفرها، کنترل گرما مانند کنترل کل فرآیند است.
گرمایش هدفمند باعث کاهش اتلاف انرژی میشود؛ این امر هزینههای عملیاتی را کاهش میدهد و از گرم شدن قطعات اطراف جلوگیری میکند.
دیوارههای خنکتر محفظه نیز باعث میشود سختافزارهای حساستان مدت زمان بیشتری دوام داشته باشند. همچنین، در زمان نگهداری، محیط کار نیز ایمنتر خواهد بود.
یک نکته مهم این است که چگالی گرمای بالا به معنای این است که سیستم خنککنندگی دستگاه باید قادر به مقابله با این شرایط باشد. اما اگر سیستم خنککنندگی را با لامپ هماهنگ کنید، میتوانید عملکرد دمایی یکنواختی داشته باشید و محیط کار نیز ایمنتر و قابل کنترلتر خواهد بود.