Pourquoi nous passons à des lampes infrarouges à ultra-haute pureté pour le séchage des semi-conducteurs
Examinons les choses honnêtement : les fours à convection commencent à sembler obsolètes. Dans le domaine du séchage et du durcissement des semi-conducteurs, on observe un changement majeur vers l’utilisation de lampes infrarouges à ultra-haute pureté.
Il ne s’agit pas seulement de respecter les normes relatives à l’absence de plomb et à l’écologie – même si cela est utile. Il s’agit aussi de la manière dont la chaleur est transmise. Au lieu de faire circuler de l’air chaud dans une pièce, les lampes infrarouges utilisent des rayonnements électromagnétiques qui atteignent directement le substrat.
Plus besoin de gaspiller de l’énergie pour chauffer de grandes quantités d’air, juste pour sécher un wafer.
La magie de la chaleur instantanée
Ce qui est génial, c’est que ces lampes utilisent un filament en tungstène inséré dans un boîtier en quartz à haute pureté. Dès que vous actionnez l’interrupteur, vous obtenez une source de chaleur concentrée.
Aucune attente nécessaire avant que la chambre ne devienne chaude. C’est un énorme avantage en termes d’économie d’énergie. Vous n’avez pas besoin de gaspiller des kilowatts pour chauffer les parois de la machine ou l’air autour d’elle ; l’énergie est dirigée là où elle est vraiment nécessaire.
Un environnement parfaitement propre
Si vous respectez les normes relatives à l’absence de plomb, vous savez à quel point les émissions gazeuses peuvent être problématiques. Les chauffages traditionnels utilisent souvent des alliages ou des revêtements qui peuvent se détacher ou libérer des gaz lorsqu’ils sont chauffés. C’est un vrai cauchemar lorsqu’on travaille avec des wafers.
Nous utilisons du quartz synthétique, presque dépourvu d’impuretés. Il reste donc propre. Pas de combustion, pas de solvants nocifs, et zéro émission de carbone là où vous travaillez. C’est simplement plus propre.
Les défis techniques
Ce n’est pas tout à fait simple : ces lampes génèrent beaucoup de chaleur en très peu d’espace. Vous ne pouvez pas simplement les installer dans une vieille machine. Il faut bien penser aux systèmes de refroidissement. Si vous ne dimensionnez pas correctement les systèmes de refroidissement, vous risquez de détériorer les supports de fixation ou même de brûler les prises électriques des lampes. C’est un véritable équilibre à trouver.
Un petit conseil concernant les câbles : utilisez des câbles étanches pouvant résister à de hautes températures. Vous ne voulez pas que les interférences électromagnétiques perturbent vos capteurs sensibles. C’est un détail, mais cela vous évitera beaucoup de problèmes par la suite.