फैब फ्लोर पर, सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान सेटपॉइंट में होने वाले बदलाव, प्रक्रिया को बर्बाद कर सकते हैं। फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता में गिरावट आ जाती है, सीडी नियंत्रण ठीक से काम नहीं करता, एवं एचचिंग प्रक्रिया में भी समस्याएँ आ जाती हैं। यदि लैंप अपना काम ठीक से नहीं करता, तो प्रक्रिया पूरी होने से पहले ही तापमान नियंत्रण खो जाता है।
क्या महत्वपूर्ण है?
मैटसन आरटीपी लैंपों में क्वार्ट्ज आवरण के अंदर शॉर्ट-वेव हैलोजन एमिटर होते हैं; ऐसे लैंप तेज़ तापमान प्रतिक्रिया एवं वेफर पर समान तापमान सुनिश्चित करते हैं। इससे प्रक्रिया के दौरान तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है; इसलिए फोटोरेसिस्ट पर पड़ने वाली ऊर्जा हर बार समान ही रहती है। ये लैंप क्लीनरूम क्लास 1–100 में ही इस्तेमाल किए जाते हैं; ऐसे डिज़ाइन से संदूषण रोका जाता है, एवं उत्पादन बेहतर रहता है। 5,000+ घंटों तक इन लैंपों से निरंतर अच्छा प्रदर्शन प्राप्त किया जा सकता है; ल्यूमेन में कमी नहीं आती, एवं रखरखाव के लिए भी निश्चित अंतराल ही आवश्यक है।
लिथोग्राफी एवं फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में इसका क्या महत्व है?
तापमान की सटीकता, फोटोरेसिस्ट की चिपचिपाहट, मोटाई एवं चिपकने की क्षमता पर प्रभाव डालती है। जब लैंप स्थिर रहता है, तो सॉफ्ट बेक प्रक्रिया में निरंतरता बनी रहती है, हार्ड बेक प्रक्रिया भी नियंत्रण में रहती है, एवं एचचिंग के बाद लाइनों की चौड़ाई भी नियंत्रित रहती है। इससे अपशिष्ट उत्पादों की मात्रा कम हो जाती है, पुनः कार्य की आवश्यकता नहीं पड़ती, एवं प्रक्रिया में लगने वाला समय भी नियंत्रित रहता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि लैंप तेज़ी से सेटपॉइंट तक पहुँच जाता है, एवं उसे बनाए रखता है; इससे चैंबर एवं शीतलन प्रणाली पर तापीय भार कम हो जाता है।
कुछ व्यावहारिक सुझाव:
लैंप की स्थापना आसान है, लेकिन लैंप को चैंबर के रिफ्लेक्टर की आकृति एवं मैटसन उपकरण के विशिष्ट विन्यास के अनुरूप ही होना आवश्यक है। कनेक्टर के प्रकार, आर्क की लंबाई एवं शीतलन प्रणाली की जाँच अवश्य करें; लैंप बदलने के बाद तापमान सटीकता बनाए रखने हेतु पाइरोमीटर को पुनः कैलिब्रेट करें।
यदि वोल्टेज निर्धारित सीमा से बाहर रहता है, तो लैंप की उम्र कम हो जाती है। वोल्टेज को निर्धारित सीमा के भीतर ही रखें, ताकि लैंप ठीक से काम कर सके।