प्रीसिजन आईआर हीटिंग: वेफर प्रोसेसिंग में सटीक ऊष्मा का क्यों महत्व है?
वेफर प्रोसेसिंग में सबसे महत्वपूर्ण बात यह है कि ऊष्मा को ठीक उसी जगह पर दिया जाए, जहाँ इसकी आवश्यकता है… और कहीं और नहीं।
हम ऐसी ही उद्देश्यों को ध्यान में रखकर इंफ्रारेड हीटिंग सिस्टम बनाते हैं। पारंपरिक हीटिंग विधियों में ऊर्जा की बर्बादी होती है; ऐसी विधियों में ऊष्मा चारों ओर फैल जाती है।
हमारे डायरेक्शनल आईआर लैंप ऐसी समस्याओं को दूर करते हैं… वे ऊष्मा को वेफर पर ही देते हैं, चैंबर की दीवारों पर नहीं।
ऊष्मा की शक्ति
आइए विस्तार से जानें… लेकिन वास्तविकता को ही ध्यान में रखें। हम ऐसे लैंपों को औद्योगिक उद्देश्यों हेतु ही डिज़ाइन करते हैं… प्रयोगशाला उद्देश्यों हेतु नहीं।
ये लैंप 400V वोल्टेज पर काम करते हैं… इससे ऊष्मा की मांग बढ़ने पर भी सब कुछ स्थिर रहता है। 2500W की शक्ति के कारण तापमान तेज़ी से बढ़ता है।
300 मिमी की लंबाई… यह कोई यादृच्छिक विवरण नहीं है… यह ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है ताकि यह मानक वेफर उपकरणों के साथ ठीक से काम कर सके… और चैंबर को पुनः डिज़ाइन करने की आवश्यकता न पड़े। लैंप लक्ष्य के बहुत करीब ही होता है… इससे कम ऊष्मा बर्बाद होती है।
निर्माण प्रक्रिया: क्वार्ट्ज, कोटिंग, एवं उचित डिज़ाइन
लैंप का शरीर क्वार्ट्ज से बना होता है… क्यों? क्योंकि यह अचानक होने वाले तापमान परिवर्तनों को सहन कर सकता है… एवं इंफ्रारेड किरणों को आसानी से आगे भेज सकता है।
फिर है कोटिंग… यह स्पेक्ट्रल आउटपुट को नियंत्रित करती है… अनावश्यक ऊर्जा को कम करती है… इससे अधिक ऊर्जा वेफर की सतह पर ही जाती है।
स्थापना हेतु हम R7s-टाइप कॉन्टैक्ट्स का उपयोग करते हैं… ये उच्च धारा को संभाल सकते हैं… एवं इनकी जगह बदलना भी आसान है।
डायरेक्शनल डिज़ाइन, रिफ्लेक्टर के साथ मिलकर ऊष्मा को आगे ही भेजता है… न कि इधर-उधर।
वास्तविक दुनिया में कैसा महसूस होता है?
वेफर प्रोसेसिंग में ऊष्मा को नियंत्रित करना ही प्रक्रिया को नियंत्रित करने जैसा ही है।
डायरेक्शनल हीटिंग से ऊर्जा की बर्बादी कम होती है… इससे ऑपरेशनल लागत कम होती है… एवं आसपास के घटकों को नुकसान नहीं पहुँचता।
ठंडी चैंबर दीवारों के कारण संवेदनशील हार्डवेयर लंबे समय तक काम कर सकता है… एवं रखरखाव के समय भी कार्य क्षेत्र सुरक्षित रहता है।
एक बात ध्यान में रखने योग्य है… उच्च ऊष्मा घनत्व के कारण मशीन को उचित शीतलन आवश्यक है… लेकिन यदि शीतलन प्रणाली लैंप के अनुरूप हो, तो तापमान नियंत्रित रहता है… एवं कार्य क्षेत्र अधिक सुरक्षित एवं नियंत्रित रहता है।