क्वांटम स्तर पर, फोटोरेजिस्ट के तापन प्रक्रिया में होने वाला आधा-डिग्री का बदलाव भी, महीनों की मेहनत को बर्बाद कर सकता है। हमने ऐसी स्थिति से बचने हेतु अपने हीटरों को विशेष रूप से डिज़ाइन किया है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज-हैलोजन तत्वों का उपयोग करके शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड ऊर्जा का उपयोग करते हैं – जिससे ऊष्मा प्रदान की जाती है, एवं तापमान पर अच्छा नियंत्रण रखा जा सकता है। वेफरों पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है, एवं प्रत्येक चक्र में तापमान में बहुत कम उतार-चढ़ाव होता है। यही कारण है कि “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में एकरूपता बनी रहती है।
यह प्लेटफॉर्म क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूप ही डिज़ाइन किया गया है – ऐसी सामग्रियों का उपयोग किया गया है जिससे गैसों का उत्सर्जन कम हो। वास्तविक उपयोग में, ये उपकरण 5,000+ घंटों तक लगातार काम कर सकते हैं, एवं उत्पादन में 5% से भी कम विचलन होता है। इनका उपयोग 24/7 किया जा सकता है।
लिथोग्राफी में इसका क्या महत्व है?
तापमान नियंत्रण एक आवश्यकता है… यह कोई सुझाव नहीं है। यह हीटर, तापमान को बहुत ही सटीक ढंग से नियंत्रित करता है; जिससे उत्पादन प्रक्रिया में एकरूपता बनी रहती है।
कम बर्बाद होने वाले वेफर… कम पुनर्कार्य की आवश्यकता… क्वांटम उपकरणों की निर्माण प्रक्रिया में भी एकरूपता बनी रहती है। हमने ऊर्जा खपत को नियंत्रित किया, ताकि उत्पादन दर स्थिर रहे, एवं प्रति बैच की लागत कम हो।
व्यावहारिक विवरण:
इंस्टॉलेशन के दौरान, उपकरण के इंटरफेस को सही ढंग से समायोजित करना आवश्यक है। हीटर को चैम्बर की ज्यामिति के अनुरूप ही स्थापित करना आवश्यक है… वरना एकरूपता पर असर पड़ेगा।
कमिशनिंग प्रक्रिया बहुत ही आसान है – थोड़ा परीक्षण करके ही तापमान नियंत्रण प्रणाली को सही ढंग से सेट किया जा सकता है। एक बात ध्यान रखें – जब लगातार कई बैचों का उत्पादन किया जा रहा हो, तो वातावरणीय आर्द्रता को नियंत्रित रखना आवश्यक है… ऐसा करने से ही तापमान नियंत्रण में एकरूपता बनी रहेगी।