なぜファブでIR硬化方式を採用するのか？ クリーンルームをアップグレードする際には、大きく分けて2つの課題があります。1つは無駄なエネルギーの消費を止めること、もう1つは有害な排出物を出さないことです。 長年にわたり、私たちは対流式オーブンを利用してきました。しかし、問題点は、大量の空気を加熱するために莫大なエネルギーが必要だという点です。これは非効率的です。さらに、そのように空気を動かすと、ウェーハが汚染される可能性が高くなります。 そこで、私たちは赤外線（IR）硬化方式に切り替えました。部屋全体を加熱する代わりに、直接基材に熱を当てるだけです。とてもシンプルです。
実際の動作原理
寒い日に太陽の光が肌に当たるのと同じです。周囲の空気が温かくなくても、暖かさを感じることができます。IRは電磁波を利用して、直接コーティング層やフォトレジスト層に熱を伝えます。これにより、ほぼ瞬時に化学反応が起こります。 その結果、硬化時間が大幅に短縮されます。また、効率が高いため、溶剤を多く含む促進剤を使う必要もありません。これはずっとクリーンな作業方法であり、二酸化炭素の排出量も大幅に減少します。
正確な精度の実現
私たちは、狭いスペースに大量の熱を込めるようにこのシステムを設計しています。 波長を調整することもできます。短波と中波の間で切り替えることができ、熱がどれだけ深く届くかを調整できます。大量生産を行う場合、これは非常に役立ちます。乾燥用のトンネルのサイズを小さくできるため、床面積を節約できます。
欠点（何かしら欠点はあるものです）
ただし、IRも万能ではありません。熱が強すぎるのです。 薄い基材や敏感な基材を扱う場合、ウェーハの端が過度に加熱される可能性があります。注意が必要です。ランプの出力とコンベヤーの速度、冷却装置をうまくバランスさせる必要があります。 もし冷却装置がその熱負荷に対応できなければ、ウェーハが歪んでしまいます。誰もそれを望みません。
取り付けの方法
もし既に電気設備が整っている場合、古い対流式装置をIRランプに交換するのはそれほど難しくありません。 燃焼ガスもなく、排気ガスもありません。環境規制を満たし、世界基準をクリアするクリーンな電気的処理方法です。