揮発性化学物質の近くで赤外線ヒーターを安全に使うために
半導体を清掃するときは、まるで火遊びをしているようなものです。周囲には可燃性の溶剤や爆発性の化学物質があふれています。そうした環境では、わずかな火花やヒーター部品の短絡は、単なる技術的なトラブルでは済みません。それは大災害につながります。
だからこそ、私たちは配線には細心の注意を払います。赤外線ランプにはテフロン（PTFE）製のワイヤーや特別な封止材を使用し、何かが爆発するのを防ぎます。
なぜPTFEを選ぶのか
一般的なPVCやシリコーン製のワイヤーを使うと、すぐに壊れてしまいます。強力な洗浄剤によってワイヤーが腐食してしまうのです。一方、PTFEは化学的に安定しており、ウェーハ洗浄に使われる酸やアルカリにも影響されません。
さらに、PTFEは熱にも強いです。ランプが最大出力で動作しても、PTFEは溶けたり、異臭を放ったりしません。そのままの状態を保ち、電流を適切な場所に送り続けます。
漏れを防ぐために
ただワイヤーを覆って終わり、というわけにはいきません。実際の危険なのは、ワイヤーが石英管に接続されている部分です。ほとんどのヒーターはここで故障します。これを解決するために、高品質な密封剤を使用して、その接続部分をしっかりと封じ込めます。これにより、化学物質の蒸気が内部に入るのを防ぎます。
しっかりと密封されていないと、その蒸気がランプの内部に入り込み、タングステンフィラメントを腐食させたり、端子を短絡させたりします。これは良くありません。
デメリットについて
もちろん、テフロンや強力な密封材を使用すると、熱抵抗が少し増えます。そのため、通常のワイヤーを使った場合と比べて、ヒーターが温まるのに数秒かかります。しかし、安全性のためには仕方のないことです。PIDコントローラーを調整して、このわずかな遅れを補う必要があります。そうしないと、温度が上昇しすぎることがあります。
クリーンルーム内での使用
実際に機械にヒーターを接続するとき、PTFE製のケースのおかげで、狭いスペースでも簡単に曲げることができます。また、絶縁体が割れる心配もありません。これにより、危険な場所でヒーターが爆発の原因になることはありません。お願いですが、定格電圧を厳守し、接地をしっかりと行ってください。PTFEは静電気を蓄積しやすいので、それは避けたいですね。