現代の工場において、適切な熱供給を実現する方法 もし、デジタル化された工場に赤外線エミッターを導入する場合、単により多くのワット数を使用しても解決にはならないことがすぐにわかります。正確な温度制御を実現するためには、安定した熱供給と信頼できるデータが必要です。 通常、この問題は1つの小さな部品にか...

可燃性化学物質の周辺でIRランプを安全に使用するために 化学洗浄エリアでIRランプを使用するとき、それはまさに火遊びのようなものです。揮発性の蒸気が漂っており、わずかな火花や少し過度に高温になった表面だけで、作業場が災害地帯に変わってしまう可能性があります。 私たちは、そうした事態を防ぐ方法を長い...

精密な赤外線加熱：ウェーハ加工において、焦点を絞った加熱がなぜ重要なのか ウェーハ加工において重要なのは、必要な場所にだけ熱を送り、他の場所には熱が行かないようにすることです。 私たちは、この目的を念頭に置いて赤外線加熱装置を開発しています。従来の広範囲にわたる加熱方式では、まるでガーデンホースを...

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる温めるだけの作業ではありません。それは、ウェーハごとに歩留まりを決定する重要な要素です。ソフトベイクやハードベイク時の温度が1℃変動するだけで、CD値が変わり、スカムが発生したり、粒子数が悪化したりします。私たちは、このような変動をなくすために、...