Out on the fab floor, profil pembakaran yang berubah-ubah tidak menarik perhatian secara jelas. Ia hanya secara senyap mengurangkan dimensi kritikal, membakar photoresist, dan menimbun sisa. Apabila pemanas lama anda tidak dapat mengekalkan keseragaman suhu di seluruh wafer, anda tidak memerlukan penyelesaian sementara. Anda memerlukan kawalan terma yang berfungsi sebagai parameter proses sebenar, bukan elemen rawak.
Apa yang penting, secara teknikal
Kami telah menggantikan pemanas dengan pemanas inframerah yang memberikan haba seragam sub-millimeter, dengan kawalan suhu yang boleh diulang. Itulah yang tepat diperlukan oleh proses photoresist soft bake dan hard bake dari segi kestabilan terma. Pemancar mencapai sasaran dengan pantas, dengan pemanasan bersih dan kawalan spatial yang ketat, supaya anda tidak mengalami kelewatan haba atau titik panas. Keseragaman pada tahap wafer kekal dalam toleransi ketat, dan sistem mengulangi profil terma yang sama dari pusingan ke pusingan. Hasilnya: dimensi kritikal (CD) kekal mengikut spesifikasi, dan pemanasan secara langsung kekal konsisten di seluruh batch.
Mengapa ia bertahan dalam litografi
Dalam litografi, suhu soft bake secara langsung menentukan ketebalan photoresist dan memastikan pengendalian edge bead removal yang betul. Hard bake perlu boleh diulang supaya langkah etsa dan implant berikutnya tidak memaksa kerja semula. Pertukaran pemanas kami mengekalkan bajet terma yang stabil, mengurangkan penghasilan zarah, dan kekal serasi dengan bilik bersih dari Kelas 1 ke Kelas 100. Anda mendapat kurang pengecualian, masa kitaran yang boleh dirancang, dan penjimatan tenaga yang boleh diukur hasil kadar peningkatan yang lebih cepat dan kuasa siaga yang lebih rendah.
Perkara yang perlu diambil perhatian
Pemasangan semula adalah mudah, tetapi optik dan susunan pemancar mesti sesuai dengan geometri dan jarak alat. Semak pemasangan, sambungan kuasa, dan interlock mengikut dokumentasi peralatan anda. Untuk prestasi optimum, sahkan penjajaran reflektor dan pelindung yang sesuai untuk bilik bersih, serta jadualkan pemeriksaan output pemancar secara berkala untuk memastikan kebolehulangan jangka panjang berada pada tahap yang diperlukan.