Keperluan untuk ketepatan 0.1°C Dalam kilang pengeluaran wafer, pengawalan suhu merupakan faktor yang sangat penting dan tidak boleh diabaikan. Ia...

Di bilik pengeluaran, perubahan pada nilai tetapan suhu semasa proses Soft Bake atau Hard Bake boleh merosakkan keseluruhan proses pengeluaran....