Di bilik pengeluaran, perubahan pada nilai tetapan suhu semasa proses Soft Bake atau Hard Bake boleh merosakkan keseluruhan proses pengeluaran. Profil fotorezyst akan berubah, kawalan ketepatan suhu menjadi tidak stabil, dan daya pilihan untuk proses etching juga terjejas. Jika lampu tersebut tidak berfungsi dengan baik, maka keseimbangan suhu dalam bilik pengeluaran sudah terganggu sebelum proses selesai.
Apa yang penting di sebaliknya
Lampu Mattson RTP yang digunakan mempunyai pengeluarkan cahaya jenis halogen gelombang pendek yang terletak di dalam selubung kuarsa. Penggunaan bahan ini membolehkan tindak balas suhu yang cepat serta keseimbangan suhu yang tepat di seluruh permukaan wafer. Lampu ini mampu mengekalkan ketepatan suhu sekitar ±0.1°C, sehingga tenaga yang diberikan kepada fotorezyst adalah konsisten dari satu proses ke proses yang lain. Reka bentuk lampu ini sesuai untuk bilik bersih kelas 1–100, dengan sistem kawalan zarah yang efektif untuk mengelakkan kontaminasi dan meningkatkan kadar pengeluaran. Anda boleh bergantung pada prestasi lampu ini selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan cahaya yang minimum dan jadual penyelenggaraan yang dapat diramalkan.
Mengapa ia penting dalam proses litografi dan pemprosesan fotorezyst
Ketepatan suhu sangat penting untuk menentukan kelikatan, ketebalan, dan daya lekat bahan-bahan yang digunakan. Apabila lampu berfungsi dengan baik, proses Soft Bake akan menjadi lebih konsisten, proses Hard Bake akan dapat dikawal dengan baik, dan lebar garisan yang dihasilkan selepas proses etching akan tetap stabil. Ini bermakna jumlah bahan yang rosak akan berkurangan, kerja-kerja pembetulan akan berkurangan, dan masa yang diperlukan untuk setiap proses akan tetap stabil. Penggunaan tenaga juga akan berkurangan, kerana lampu dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat tanpa melebihi hadnya, sekaligus mengurangkan beban haba pada bilik pengeluaran dan sistem penyejukan.
Beberapa nota praktikal
Pemasangan lampu ini agak mudah, tetapi lampu tersebut perlu disesuaikan dengan geometri reflektor di bilik pengeluaran serta varian alat Mattson yang digunakan. Pastikan jenis sambungan, panjang busur elektrik, dan penyesuaian sistem penyejukan betul sebelum memasang lampu tersebut. Setelah pemasangan, laraskan semula nilai suhu menggunakan pirometer agar ketepatan suhu dapat dipertahankan.
Jika voltan yang digunakan berada di luar julat yang ditetapkan, jangka hayat lampu akan berkurangan. Pastikan bekalan kuasa berada dalam lingkungan yang ditetapkan, supaya lampu dapat berfungsi seperti yang dijangkakan.