Dalam proses litografi kuantum, perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pembakaran bahan fotoresist boleh merosakkan hasil kerja yang telah dijalankan selama berbulan-bulan, sebelum ia dapat dilihat. Kami telah membina pemanas khas untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku.
Apa yang benar-benar penting
Kami menggunakan cahaya inframerah gelombang pendek bersama unsur kuarsa-halogen untuk menghasilkan haba yang bersih, dengan kelajuan pemanasan yang tinggi dan kawalan yang tepat. Keseragaman suhu pada permukaan wafer adalah antara ±0.1°C, dan nilai tetap tersebut dapat dipertahankan dari satu kitaran ke kitaran yang lain. Inilah yang memastikan proses pembakaran berjalan dengan lancar.
Platform ini dibina untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100: bahan-bahan yang digunakan memastikan pengeluaran gas yang minimum. Di lapangan, unit ini dapat beroperasi lebih dari 5,000 jam tanpa adanya penurunan prestasi melebihi 5%. Ia boleh beroperasi 24/7.
Mengapa ini penting dalam litografi
Had suhu bukanlah cadangan semata-mata, melainkan syarat yang mesti dipatuhi. Pemanas ini memastikan suhu pembakaran kekal stabil, sekaligus menstabilkan dimensi komponen elektronik dan mengelakkan variasi ketebalan garis pada permukaan wafer.
Ini mengurangkan jumlah wafer yang rosak dan keperluan untuk memprosesnya semula. Selain itu, prosesnya juga menjadi lebih dapat diramalkan pada setiap lapisan peranti kuantum. Kami telah menyesuaikan penggunaan tenaga tanpa mengorbankan kawalan suhu, sehingga pengeluaran tetap stabil dan kos operasi setiap sesi pengeluaran berkurangan.
Butiran praktikal yang perlu diketahui
Proses pemasangan melibatkan penyesuaian antara antaramuka alat dengan sistem pengudaraan. Pemanas perlu diselaraskan dengan geometri bilik tersebut; jika tidak, ia akan menyebabkan masalah keseragaman suhu.
Proses ujian pula berlangsung dengan cepat: cukup lakukan ujian singkat untuk menentukan parameter pembakaran yang sesuai serta memastikan prestasi sistem pengudaraan berada pada tahap yang baik. Perlu diingat bahawa apabila menjalankan beberapa sesi pengeluaran berturut-turut, kelembapan udara perlu dikawal dengan baik. Ini akan memastikan proses pembakaran berjalan secara konsisten.