Mengapa perlu berhenti menggunakan cara lama untuk mengeringkan wafer? Cara yang lebih baik untuk melakukannya
Jika anda pernah bekerja di fasiliti pengeluaran yang menggunakan kaedah lama, anda pasti tahu bagaimana prosesnya berlangsung. Sistem tersebut menggunakan udara panas untuk mengeringkan permukaan wafer, sambil menunggu air di permukaan tersebut menguap. Memang ia merupakan cara yang mudah, tetapi ia sangat lambat.
Masalahnya ialah udara tidak begitu efektif dalam memindahkan haba. Anda perlu menggunakan banyak tenaga untuk memanaskan seluruh bilik tersebut hanya untuk mengeringkan lapisan air yang tipis pada permukaan wafer. Ia sama seperti cuba mengeringkan satu pinggan dengan memanaskan seluruh dapur.
Menghilangkan masalah “zona kering”
Inilah di mana teknologi inframerah (IR) masuk ke dalam gambaran. Daripada memanaskan udara dan berharap ia akan sampai ke wafer, IR dapat bertindak secara langsung pada molekul air. Kita menggunakan lampu IR berfrekuensi rendah untuk mempercepat proses penguapan. Dengan cara ini, masa yang diperlukan untuk mengeringkan wafer berkurangan dari beberapa minit menjadi beberapa saat sahaja. Ini benar-benar mengubah cara kerja proses pengeringan tersebut.
Selain itu, anda tidak perlu risau tentang “zona kering” atau corak aliran udara yang menyebabkan beberapa bahagian wafer masih basah. IR memberikan tenaga yang konsisten ke seluruh permukaan wafer. Dan kerana tiada udara yang dialirkan, debu dan zarah-zarah lain tidak akan terbakar pada permukaan wafer yang bersih.
Lebih cepat, kurang gangguan
Beralih kepada teknologi IR bukan hanya soal kelajuan, tetapi juga ruang yang diperlukan. Sistem pengudaraan konvensional memerlukan alat pemampat yang besar, saluran udara yang panjang, serta alat penukar haba yang berat. Semua ini memerlukan ruang yang banyak. Sebaliknya, sistem IR lebih ringkas. Ia merupakan modul yang kompak yang boleh dipasang dengan mudah di ruang yang sudah ada.
Selain itu, bil elektrik anda juga akan berkurangan. Lampu IR hanya akan menggunakan tenaga apabila ia benar-benar digunakan untuk mengeringkan wafer. Anda tidak perlu membayar kos untuk memanaskan udara sepanjang masa.
Perhatian: Haba yang berlebihan
Sejujurnya, teknologi IR memerlukan pengawasan yang ketat. Jika jarak antara lampu IR dan wafer terlalu dekat, wafer boleh terlalu panas atau bahan sensitif pada wafer boleh rosak. Ia bukan alat yang boleh digunakan tanpa pengawasan. Anda perlu mengawal suhu dengan tepat menggunakan sistem PID, agar haba tidak berlebihan.
Anda juga perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika haba yang tidak sampai ke wafer tidak dikendalikan dengan baik, sensor-sensor pada wafer boleh rosak. Walaupun memerlukan sedikit usaha untuk mengatur semuanya, hasilnya sangat berbaloi.