Op de productielijn kan een afwijkend ingesteld temperatuurniveau tijdens het proces van ‘Soft Bake’ of ‘Hard Bake’ ernstige gevolgen hebben voor het resultaat. De eigenschappen van de fotorezist veranderen, de controle over de dikte van de laag wordt slechter en de selectiviteit bij het eten van de laag neemt af. Als de lamp zijn taak niet goed uitvoert, is de thermische balans al verstoord voordat het proces voltooid is.
Wat belangrijk is onder de motorkap De Mattson RTP-lamp die we gebruiken, bevat korte-golflengtehalogeenemittoren die zich bevinden in een kwartsomhulsel. Hierdoor heeft de lamp een snelle reactie op temperatuurveranderingen en blijft de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer constant. De temperatuurvariatie blijft binnen ±0,1°C, zodat de energie die op de fotorezist terechtkomt steeds hetzelfde is. De lamp is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. Dankzij het ontwerp dat vuil tegenhoudt, blijft de kwaliteit van het product behouden. U kunt rekenen op consistente prestaties gedurende meer dan 5.000 uur, met minimale afname van de lichtsterkte en voorspelbare onderhoudsintervallen.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie en fotorezistverwerking De nauwkeurigheid van de temperatuur heeft invloed op de viscositeit, dikte en hechting van de laag. Wanneer de lamp stabiel is, verbetert de herhaalbaarheid van het proces van ‘Soft Bake’. De controle over het proces van ‘Hard Bake’ blijft ook behouden, en de breedte van de lijnen blijft constant na het eten van de laag. Dit betekent minder afvalproducten, minder herwerkzaamheden en constante cyclustijden. Ook de energieverbruik neemt af, omdat de lamp snel de gewenste temperatuur bereikt en deze behoudt, zonder dat er sprake is van overschrijdingen. Hierdoor wordt de thermische belasting op de kamer en het koelsysteem verminderd.
Een paar praktische tips De installatie is eenvoudig, maar de lamp moet passen bij de geometrie van de reflector in de kamer en bij de specifieke versie van de Mattson-lamp. Controleer goed het type connector, de lengte van de boog en de alignering van het koelsysteem. Pas daarna de pyrometerafstelling aan na vervanging, zodat de temperatuur nauwkeurig blijft.
Als de spanning buiten het voorgeschreven bereik valt, wordt de levensduur van de lamp verminderd. Houd de spanning binnen de toegestane grenzen, zodat de lamp optimaal werkt.