0,1°C’lik hassasiyet gereksinimi Wafer üretim tesislerinde, termal durumla ilgili ayarlamalar yapılacak bir şey değildir; bu ayarlar sabittir. İşte...

Üretim alanında, Soft Bake veya Hard Bake işlemleri sırasında belirlenen sıcaklık değerlerindeki değişiklikler, üretim sürecini bozabilir. Fotoresist...