Tại sao chúng ta chuyển sang phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại trong quy trình sản xuất
Khi nâng cấp phòng sạch, có hai yếu tố quan trọng cần được xem xét: tránh lãng phí năng lượng và ngăn chặn việc thải ra những chất độc hại. Trong nhiều năm qua, chúng ta vẫn sử dụng lò sưởi thông thường. Nhưng vấn đề là chúng tiêu tốn rất nhiều năng lượng để làm nóng không khí trong phòng. Điều này rất kém hiệu quả. Hơn nữa, việc di chuyển lượng không khí lớn như vậy còn khiến cho các wafer dễ bị ô nhiễm.
Đó là lý do tại sao chúng ta chuyển sang phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại. Thay vì làm nóng toàn bộ căn phòng, phương pháp này chỉ tác động trực tiếp lên bề mặt vật liệu cần xử lý. Rất đơn giản.
Cách thức hoạt động của phương pháp này
Hãy tưởng tượng như ánh nắng mặt trời chiếu vào da bạn vào những ngày lạnh. Bạn không cần không khí xung quanh phải nóng mới cảm nhận được hơi ấm. Tia hồng ngoại sử dụng bức xạ điện từ để tác động trực tiếp lên lớp phủ hoặc lớp chất cảm quang trên bề mặt vật liệu. Điều này gây ra phản ứng hóa học ngay lập tức. Thời gian cần thiết để hoàn thành quy trình xử lý giảm đáng kể. Vì phương pháp này rất hiệu quả, nên chúng ta không cần sử dụng các chất phản ứng có chứa dung môi nữa. Đây là phương pháp làm việc sạch hơn nhiều, và lượng khí thải carbon cũng giảm đi đáng kể.
Làm thế nào để đạt được độ chính xác cao
Chúng ta thiết kế các hệ thống này sao cho có thể tạo ra nhiệt lượng lớn trong một không gian nhỏ. Chúng ta cũng có thể điều chỉnh bước sóng của tia hồng ngoại – chuyển từ bước sóng ngắn sang bước sóng trung bình – tùy thuộc vào độ sâu mà nhiệt lượng cần xâm nhập vào vật liệu. Nếu bạn hoạt động trong quy mô lớn, phương pháp này thực sự rất hữu ích. Bạn có thể giảm kích thước ống sấy, từ đó giành lại diện tích sàn.
Những hạn chế của phương pháp này
Tuy nhiên, tia hồng ngoại cũng không phải là giải pháp hoàn hảo. Nhiệt lượng từ tia hồng ngoại khá mạnh. Nếu bạn sử dụng vật liệu mỏng hoặc nhạy cảm, việc làm nóng quá mức các mép của wafer là điều dễ xảy ra. Bạn cần phải cân bằng công suất của đèn với tốc độ vận chuyển vật liệu và hiệu quả của hệ thống làm mát. Nếu hệ thống làm mát không thể xử lý được lượng nhiệt lớn này, wafer sẽ bị biến dạng. Và chẳng ai muốn điều đó cả.
Làm thế nào để áp dụng phương pháp này
Nếu hệ thống điện đã được lắp đặt sẵn, việc thay thế các thiết bị sưởi thông thường bằng đèn hồng ngoại khá đơn giản. Không có khí thải hay chất độc hại nào được tạo ra. Đây là phương pháp làm việc sạch sẽ, giúp giảm thiểu tác động xấu đến môi trường và đáp ứng mọi tiêu chuẩn quốc tế.