Nhu cầu về độ chính xác 0,1°C Trong các nhà máy sản xuất wafer, việc kiểm soát nhiệt độ là điều không thể bỏ qua. Nhiệt độ phải được duy trì ở mức...

Trong quá trình sản xuất, nếu giá trị điều chỉnh nhiệt độ thay đổi trong giai đoạn Soft Bake hoặc Hard Bake, điều này có thể gây hư hại nghiêm trọng...