Trong quá trình sản xuất, nếu giá trị điều chỉnh nhiệt độ thay đổi trong giai đoạn Soft Bake hoặc Hard Bake, điều này có thể gây hư hại nghiêm trọng cho quy trình sản xuất. Các thông số liên quan đến lớp phim quang học sẽ bị ảnh hưởng, khả năng kiểm soát độ dày lớp phim cũng bị suy giảm, và khả năng chọn lọc khi etch cũng không còn chính xác nữa. Nếu chiếc đèn không hoạt động tốt, thì mức nhiệt độ trong buồng sẽ không ổn định ngay từ đầu, dẫn đến việc quy trình sản xuất bị gián đoạn.
Những yếu tố quan trọng Loại đèn Mattson RTP mà chúng tôi sử dụng có các bóng đèn halogen tia ngắn nằm bên trong vỏ thủy tinh; loại đèn này được chọn vì khả năng phản ứng nhanh với nhiệt độ và khả năng duy trì độ ổn định nhiệt độ cao trên toàn bộ bề mặt wafer. Đèn này có khả năng duy trì độ ổn định nhiệt độ ở mức ±0,1°C, giúp cho lượng năng lượng chiếu vào lớp phim quang học luôn ổn định từ lần này sang lần khác. Thiết kế của đèn này phù hợp với môi trường buồng sạch loại 1–100, với cơ chế kiểm soát các hạt bụi nhằm tránh sự ô nhiễm và giúp tăng tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn. Bạn có thể tin tưởng vào hiệu suất ổn định của đèn trong hơn 5.000 giờ sử dụng, với mức suy giảm ánh sáng tối thiểu và khoảng thời gian bảo trì dễ dự đoán.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn và xử lý lớp phim quang học? Độ chính xác của nhiệt độ ảnh hưởng trực tiếp đến độ nhớt, độ dày và khả năng bám dính của lớp phim quang học. Khi đèn hoạt động ổn định, quá trình Soft Bake sẽ diễn ra một cách chính xác hơn, quá trình Hard Bake cũng được kiểm soát tốt hơn, và độ rộng của các đường nét sau khi etch cũng ổn định hơn. Điều này giúp giảm lượng sản phẩm bị hỏng, giảm chi phí tái sản xuất, và giúp rút ngắn thời gian hoàn thành quy trình. Ngoài ra, việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt, vì đèn có thể duy trì nhiệt độ ở mức mong muốn mà không gây quá tải cho buồng sạch và hệ thống làm mát.
Một vài lưu ý thực tế Việc lắp đặt đèn khá đơn giản, nhưng đèn cần phải phù hợp với cấu trúc của bộ phản xạ trong buồng sạch và phiên bản đèn cụ thể của Mattson. Hãy kiểm tra kỹ loại kết nối, chiều dài bức xạ và độ căn chỉnh hệ thống làm mát. Sau khi thay thế đèn, hãy điều chỉnh lại giá trị đo nhiệt độ để đảm bảo độ chính xác của nhiệt độ.
Nếu điện áp sử dụng vượt quá giới hạn cho phép, tuổi thọ của đèn sẽ bị giảm. Hãy đảm bảo rằng điện áp sử dụng nằm trong phạm vi cho phép, như vậy đèn mới có thể hoạt động tốt như mong đợi.