Out on the fab floor, một profile nung bị lệch không gây chú ý ngay lập tức. Nó chỉ âm thầm làm giảm các kích thước quan trọng, làm cháy photoresist và tích tụ phế phẩm. Khi bộ gia nhiệt cũ của bạn không giữ được sự đồng đều nhiệt trên toàn bộ wafer, bạn không cần một bản vá nữa. Bạn cần kiểm soát nhiệt hoạt động như một tham số quy trình thực thụ, không phải một biến số bất định.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi đã thay thế bằng các bộ gia nhiệt hồng ngoại cho phép bạn có nhiệt độ đồng đều dưới mức milimét, với khả năng kiểm soát nhiệt độ lặp lại được. Đây chính xác là yêu cầu của quá trình soft bake và hard bake photoresist về độ ổn định nhiệt. Các bộ phát nhiệt đạt mục tiêu nhanh chóng, với nhiệt lượng sạch và kiểm soát không gian chính xác, tránh hiện tượng trễ nhiệt hoặc điểm nóng. Độ đồng đều ở mức wafer luôn nằm trong dung sai chặt, và hệ thống lặp lại cùng một profile nhiệt nhiều lần liên tục. Lợi ích: các kích thước quan trọng (CDs) giữ ổn định trong giới hạn cho phép, và nhiệt độ trên vùng nhìn thấy đồng đều xuyên suốt mẻ sản xuất.
Tại sao nó bền vững trong lithography
Trong lithography, nhiệt độ soft bake trực tiếp quyết định độ dày photoresist và ảnh hưởng đến khả năng loại bỏ lớp bead cạnh. Hard bake phải được lặp lại chính xác để các bước ăn mòn (etch) và cấy (implant) tiếp theo không gây phải làm lại. Việc thay bộ gia nhiệt giúp giữ ngân sách nhiệt ổn định, giảm phát sinh hạt bụi, và tương thích với môi trường phòng sạch từ Class 1 đến Class 100. Kết quả là ít sự cố nhiệt, thời gian chu trình dễ dự đoán và tiết kiệm năng lượng đo được nhờ tốc độ gia nhiệt nhanh hơn và giảm công suất chế độ chờ.
Những lưu ý cần nhớ
Việc cải tạo khá đơn giản, nhưng bố trí quang học và vị trí bộ phát nhiệt phải phù hợp với hình học và khoảng trống của thiết bị. Kiểm tra vị trí lắp, kết nối nguồn và các công tắc an toàn theo tài liệu thiết bị của bạn. Để đạt hiệu suất tối ưu, xác nhận căn chỉnh phản xạ và che chắn phù hợp với phòng sạch, đồng thời lên lịch kiểm tra đầu ra bộ phát thường xuyên để đảm bảo độ lặp lại lâu dài ở mức cần thiết.