Giữ cho môi trường sạch cấp độ 100 luôn trong tình trạng sạch sẽ
Trong ngành sản xuất linh kiện bán dẫn, chỉ cần một hạt bụi nhỏ – thứ mà con người không thể nhìn thấy được – cũng có thể phá hủy cả một lô wafer. Đó quả là một cơn ác mộng. Vì vậy, khi cần tạo nhiệt trong môi trường sạch cấp độ 100, chúng ta không thể sử dụng các bộ phận gia nhiệt thông thường. Những bộ phận này sẽ giải phóng khí và tạo ra các hạt bụi.
Đó là lý do tại sao chúng ta chọn các bóng đèn hồng ngoại bằng thạch anh có độ tinh khiết cao.
Tại sao thạch anh lại quan trọng?
Chúng ta sử dụng thạch anh tổng hợp để chế tạo các bóng đèn này. Nếu sử dụng thủy tinh borosilicate rẻ tiền hơn, chúng ta sẽ gặp vấn đề về việc giải phóng khí từ thủy tinh vào không khí sạch.
Vỏ bọc bằng thạch anh đóng vai trò như một lớp kín, giữ chặt sợi wolfram và khí halogen bên trong. Điều tuyệt vời nhất là nhiệt lượng được truyền trực tiếp vào vật liệu cần gia nhiệt. Không có sự tiếp xúc vật lý, không có luồng khí di chuyển, và cũng không có bụi bẩn nào được tạo ra.
Thiết kế phù hợp với điều kiện thực tế
Không gian trong những thiết bị này rất hạn chế, vì vậy chúng ta tập trung vào việc tăng mật độ công suất của chúng. Chúng ta muốn chúng có thể tăng nhiệt độ nhanh chóng.
Bằng cách giữ năng lượng hồng ngoại trong dải bước sóng ngắn, nhiệt lượng sẽ được truyền trực tiếp vào vật liệu cần gia nhiệt. Như vậy, không cần phải mất thời gian để làm nóng không khí trong buồng, và hệ thống làm mát cũng không cần phải hoạt động quá mức.
Chúng ta cũng dành nhiều thời gian để đảm bảo rằng các khe nối của dây dẫn được kín chặt. Một khe hở nhỏ cũng có thể trở thành lối cho bụi bẩn xâm nhập. Chúng ta sử dụng kỹ thuật chế tác từ thạch anh để đảm bảo rằng các khe nối này luôn được kín chặt, ngay cả khi nhiệt độ thay đổi.
Những khó khăn trong việc sử dụng thạch anh
Thạch anh rất tốt, nhưng nó lại dễ vỡ. Nó có thể chịu được nhiệt độ cao, nhưng lại không chịu được va đập hay rung chấn.
Một mẹo nhỏ: đừng siết chặt quá mức các braket treo bóng đèn. Nếu không có khoảng trống để ống thạch anh giãn nở khi nóng lên, nó sẽ bị vỡ. Bạn cần để lại một khoảng trống nhỏ.
Và một điều nữa: vì các bóng đèn này có công suất rất cao, chúng có thể làm hư hỏng các lớp phủ hữu cơ trên bề mặt wafer nếu wafer quá gần bóng đèn. Bạn nên kiểm tra lại khoảng cách tập trung ánh sáng dựa trên công suất của bóng đèn, để tránh làm hư hỏng bề mặt wafer.