Tại sao chúng ta nên chuyển sang sử dụng bóng đèn hồng ngoại loại UHP trong quy trình sản xuất chip bán dẫn?
Hãy thừa nhận rằng: các lò sấy kiểu đối lưu đang dần trở thành thứ lỗi thời. Trong lĩnh vực sấy và khử ẩm cho chip bán dẫn, chúng ta đang chứng kiến sự chuyển dịch mạnh mẽ sang việc sử dụng bóng đèn hồng ngoại loại Ultra High Purity (UHP).
Điều này không chỉ liên quan đến việc tuân thủ các tiêu chuẩn “không chứa chì và thân thiện với môi trường” – mặc dù điều đó cũng rất quan trọng. Điều quan trọng hơn là cách mà nhiệt được truyền tải. Thay vì sử dụng không khí nóng để sấy, bóng đèn hồng ngoại sử dụng bức xạ điện từ để truyền nhiệt trực tiếp vào bề mặt vật liệu cần sấy.
Không còn phải lãng phí năng lượng để làm nóng một lượng không khí lớn chỉ để sấy một tấm wafer nữa.
Sức mạnh của việc truyền nhiệt tức thì
Điểm tuyệt vời của bóng đèn UHP là chúng sử dng sợi wolfram bên trong một ống thạch anh có độ tinh khiết cao. Khi bật công tắc, bạn sẽ nhận được luồng nhiệt cực mạnh.
Chúng có thể hoạt động ngay lập tức, không cần chờ đợi cho đến khi buồng sấy được làm nóng. Điều này giúp tiết kiệm đáng kể chi phí năng lượng. Bạn không cần phải tiêu tốn năng lượng để làm nóng các bộ phận xung quanh máy; năng lượng được sử dụng đúng vào nơi cần thiết.
Giữ mọi thứ sạch sẽ
Nếu bạn tuân thủ các tiêu chuẩn không chứa chì, bạn chắc hẳn biết rằng việc khí thải từ các bộ phận máy móc có thể gây ra nhiều vấn đề. Các lò sấy cũ thường sử dụng các hợp kim hoặc lớp phủ có thể bong tróc hoặc giải phóng khí khi máy hoạt động ở nhiệt độ cao. Điều này thật kinh khủng khi làm việc với các tấm wafer.
Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp với hàm lượng tạp chất gần như bằng không. Nhờ đó, mọi thứ luôn được giữ sạch sẽ. Không có quá trình đốt cháy, không có chất dung môi độc hại, và không có khí thải carbon tại nơi làm việc. Mọi thứ đều rất sạch sẽ.
Những thách thức kỹ thuật
Tuy nhiên, việc sử dụng bóng đèn UHP không hề đơn giản. Chúng tạo ra lượng nhiệt cực lớn trong một không gian nhỏ, vì vậy bạn cần phải suy nghĩ kỹ về hệ thống làm mát. Nếu không thiết kế hệ thống làm mát đúng cách, bạn có thể gặp vấn đề với các bộ phận lắp đặt hoặc thậm chí làm hỏng bóng đèn. Đó là một thách thức cần được xem xét kỹ lưỡng.
Một mẹo nhỏ về việc lắp đặt dây điện: hãy sử dụng dây có lớp bảo vệ chống nhiệt. Bạn không muốn nhiễu điện từ ảnh hưởng đến các cảm biến nhạy cảm của máy. Đó là chi tiết nhỏ, nhưng nó sẽ giúp bạn tránh được nhiều rắc rối sau này.