为何我们要在制造过程中采用红外固化技术
在升级洁净室时，通常有两个关键目标：避免能源浪费，同时减少有害物质的排放。 多年来，我们一直依赖对流式烤箱。但问题在于，这类烤箱需要消耗大量能量来加热大量空气，效率极低。此外，让大量空气流动还会增加晶圆被污染的风险。 因此，我们转而使用红外固化技术。这种技术无需加热整个房间，而是直接作用于被处理的基底上。非常简单。
其工作原理
可以想象一下，在寒冷的天气里，太阳光照射在皮肤上的感觉。你不需要周围的空气变热就能感受到温暖。红外固化技术则利用电磁辐射直接作用于涂层或光阻层，从而引发化学反应。这样一来，固化时间就会大大缩短。而且由于效率极高，因此无需再使用那些含有大量溶剂的加速剂。这是一种更环保的加工方式，还能有效降低碳足迹。
确保精度
我们设计的系统能够在狭小的空间内产生大量的热量。实际上，还可以根据需要调节波长——在短波和中波之间切换——从而控制热量穿透的深度。对于大规模生产来说，这无疑是个很大的优势。这样就可以缩小干燥隧道的空间，从而节省一些地面空间。
当然，也有缺点
不过，红外固化技术并非万能的。其产生的热量相当强烈。如果处理的是较薄或敏感的基底，很容易导致晶圆边缘过热。因此，必须小心处理，需要平衡灯的功率、输送带的速度以及冷却系统的效率。如果冷却系统无法应对如此高的热量，那么晶圆就可能会变形，而这显然是大家所不想看到的。
如何实现兼容性
如果您的电气系统已经准备就绪，那么用红外灯替换旧的对流式烤箱其实很简单。没有燃烧产生的气体，也没有烟雾，只有一种清洁的电驱动过程，这样的处理方式既能满足环境监管要求，也能符合各种国际标准。