使用红外线来干燥MEMS晶圆：为何它比传统烤箱更优
如果你想打造现代化的智能制造工厂，那就不能再依赖那些传统的对流式烤箱了。因为它们的速度实在太慢。在干燥MEMS传感器晶圆时，我们选择了短波红外线技术。关键在于速度和响应时间——当生产流程实现数字化且运作速度很快时，这些特性就显得尤为重要。
为什么红外线技术如此有效？
红外线的优点在于它不会浪费时间去加热晶圆周围的空气，而是直接照射到晶圆表面。这样一来，就能避免其他设备过热的问题。此外，由于可以精确控制功率，因此可以直接将其与PLC相连。如果晶圆厚度发生变化，或者你想提高处理速度，只需实时调整功率即可。无需等待整个空间内的空气变热。
关于硬件的细节
为了能在洁净室环境中正常工作，我们需要设计出能够承受严苛条件的加热器。我们使用高纯度的石英材质作为外壳，这样就可以避免污染物破坏传感器。同时，我们还追求高功率密度，也就是说，要让干燥过程尽可能快地完成。
不过，有一点需要注意：一定要确保电源的输出电压与灯管的要求相匹配。否则，灯管会很快损坏。另外，这些灯管在运行时会产生极高的热量，不仅晶圆表面会变热，灯管的末端也会很热。因此，必须使用能够承受高温的连接器和导线，否则终端部位就会因持续的高温而熔化。这显然不是什么好事。
权衡利弊
没错，红外线技术确实更快——其速度比热风快60%。但它也有一个缺点：它的加热方向是有局限性的。如果晶圆架的位置稍有偏差，就会出现局部温度不均的情况。因此，必须精心设计反射器的结构，以确保热量能均匀地照射到晶圆的每一处。
由于这类系统的性能非常高，所以对维护要求也较高。不能只是设置好后就不管了，还需要定期进行维护，清除石英管上的残留物或气体。不过，为了获得更快的干燥速度，这点代价还是值得的。