停止等待吧：为什么红外线加热比强制对流加热更高效
在选择用于深度加工的加热设备时，实际上就是在决定如何传递能量。大多数人首先会选择强制对流加热方式，因为这是标准做法。但问题在于，空气只是个中间介质而已。你先加热空气，再希望空气能把热量传递给晶圆。这个过程相当缓慢。
而红外线加热则省去了这个中间环节，直接将能量传递到晶圆上。无需等待，也无需额外的步骤。
等待的真正代价
如果你曾经使用过强制对流加热方式，那么你一定知道那种令人烦扰的热传递延迟现象。空气无法很好地保持热量，而位于晶圆表面的那层薄薄的空气则像一层屏障，进一步减缓了热量的传递速度。虽然单个晶圆的加工时间可能看似微不足道，但在大规模生产中，这就成了一个大问题。
使用红外线加热的话，几乎可以立刻达到目标温度。从几分钟的加热时间缩短到几毫秒即可。这并非所谓的“效率提升”，而是真正能够提高每小时处理的晶圆数量，因为你不必再等待加热室达到预定温度。
节省空间
此外，使用红外线加热还可以节省空间。你无需再使用那些庞大的鼓风机以及复杂的管道系统来输送热空气。
更棒的是，红外线加热系统还支持分区加热功能。如果晶圆的某个部位温度过低，你可以单独加热该区域，而不影响其他部分的温度。这种方式更为精准。
需要注意的问题
不过，红外线加热也并非万能的解决方案。由于它的加热速度太快，如果PID控制装置设置不当，就很容易导致温度过高。因此，不能简单地“设置好后就不管了”。你需要快速响应的传感器和功率控制器，以便在达到目标温度后立即停止加热。另外，还要注意散热问题。如果系统无法及时散发热量，那么温度就会继续上升。最后，一定要使用适当的热屏蔽材料，否则反而会损坏电子元件。