为何我们选择使用超高纯度红外线灯进行半导体晶圆干燥处理
坦白说，传统对流式烘箱已经渐渐过时了。在半导体材料的干燥和固化过程中，人们越来越倾向于使用超高纯度红外线灯。
这并非仅仅因为“无铅、环保”的要求——虽然这些优点也很重要。关键在于热量传递的方式：传统烘箱是通过吹送热空气来加热，而红外线灯则是利用电磁辐射直接作用于晶圆表面。这样一来，就无需再浪费能量去加热大量空气了。
即时加热的神奇效果
这类超高纯度红外线灯内部包含钨丝，而钨丝则被包裹在高纯度的石英套管中。一旦打开开关，就会产生强烈的热源。因此，无需等待整个腔体升温，就能立即开始加热过程。这对降低能耗来说无疑是个巨大的优势。因为这样就不必浪费能量去加热机器的壁面或周围的空气，而是将能量直接用于需要加热的地方。
保持工作环境的整洁
如果遵循无铅标准的话，大家都知道气体释放带来的困扰。传统加热器通常使用含杂质的合金或涂层，这些材料在受热时可能会脱落或释放出有害气体。对于处理晶圆而言，这无疑是个大问题。而我们使用的则是几乎不含杂质的合成石英材料。它不会产生任何污染物，也没有碳排放，工作环境自然更加清洁。
需要注意的工程问题
不过，这些灯并不是那么简单就能使用的。它们能在极小的空间内产生大量的热量。因此，不能直接将其安装在旧机器上。必须充分考虑冷却系统的问题。如果冷却系统设计不当，可能会导致安装支架变形或灯具损坏。这需要仔细权衡各种因素。
另外，关于接线方面，建议使用耐高温的屏蔽电缆。这样可以避免电磁干扰影响敏感传感器的工作。虽然这只是一个小细节，但能避免日后出现很多麻烦。