Proč přestat foukat horký vzduch? Lepší způsob sušení waferů
Pokud jste někdy strávili čas v starších výrobních linkách, znáte ten postup. Existují tam obrovské systémy, které prostě foukají horký vzduch na wafery a čekají, až se voda odpaří. Je to sice jednoduché řešení, ale je strašně pomalé.
Problém je v tom, že vzduch špatně přenáší teplo. Nakonec spotřebujete spoustu energie na ohřev celé komory jen proto, abyste osušili tenkou vrstvu vody na povrchu waferu. Je to, jako byste se snažili osušit jednu talířku tím, že ohřejete celou kuchyni.
Vyhnout se zbytečnostem
Zde přichází na scénu infračervené záření. Místo ohřevu vzduchu a doufání, že se teplo dostane k waferu, infračervené záření působí přímo na molekuly vody. Používáme krátkovlnné infračervené lampy, které umožňují okamžitou odpařovací reakci. Jde o změnu z procesu sušení trvajícího minuty na proces trvající sekundy. Sekundy. To mění celý rytmus výroby.
Kromě toho se nemusíte obávat „mrtvých zón“ nebo divných průtoků vzduchu, které způsobují, že některá místa zůstanou mokrá. Infračervené záření poskytuje konstantní energii na celý povrch waferu. A protože nefoukáte vzduch, neodnášíte náhodně prach a částice zpět na čistý wafer.
Více rychlosti, méně nepořádku
Přechod na infračervené záření se netýká pouze rychlosti – týká se také prostoru. Systémy s nuceným prouděním vzduchu jsou objemné. Potřebují obrovské ventilátory, dlouhé potrubí a těžké výměníky tepla. Zabírají příliš mnoho prostoru. Na druhou stranu infračervený systém je kompaktní – jedná se o malý modul, který se snadno umístí do prostoru, který již máte k dispozici.
A váš účet za elektřinu vám poděkuje. Lampy spotřebovávají energii pouze tehdy, když skutečně suší. Nemusíte platit za udržování horkého vzduchu 24/7.
Nevýhody: Je potřeba respektovat teplo
Buďme upřímní – infračervené záření je velmi silné. Pokud není správně nastavena doba nebo vzdálenost, můžete wafer snadno přehřát nebo poškodit citlivý fotoresistent. Není to nástroj, který lze jednoduše zapnout a zapomenout na něj. Je potřeba pečlivé řízení teploty a rychlé uzavírání ventilů, aby byla teplota pod kontrolou.
Musíte také dbát na chlazení. Pokud nezohledníte infračervené záření, které minulo wafer, můžete poškodit své senzory. Vyžaduje to trochu více preciznosti, ale výsledek v terms of rychlosti výroby stojí za námahu.