متوقف کنید هدر رفتن انرژی: چرا لامپهای مادون قرمز با پوشش طلا واقعاً مؤثرند
بیایید صادق باشیم: هدر رفتن انرژی در سیستمهای نیمههادی، نشانهای از طراحی بد است.
اکثر لامپهای مادون قرمز استاندارد، انرژی را در تمام جهات – یعنی ۳۶۰ درجه – پخش میکنند. این بدان معناست که نیمی از انرژی گرانقیمت شما، به جای گرم کردن ویفر، فقط هوا را گرم میکند. این کار نه تنها آزاردهنده است، بلکه کارایی نیز ندارد.
ما این مشکل را با قرار دادن پوشش طلا با خلوص بالا روی سطح پشتی لامپ، حل میکنیم.
منطق این کار ساده است:
طلا برای زیبایی استفاده نمیشود؛ بلکه به این دلیل استفاده میشود که بیش از ۹۵ درصد از امواج مادون قرمز را منعکس میکند. با پوشاندن سطح پشتی لامپ، ما این فوتونها را مجبور میکنیم که به سمت جلو منعکس شوند.
در نتیجه، تمام انرژی روی سطح ویفر تمرکز میشود؛ این کار باعث میشود زمان لازم برای گرم شدن ویفر کاهش یابد، بدون اینکه فشار بیشتری بر منبع تغذیه وارد شود.
اما مشکل اینجاست که وقتی انرژی زیادی تمرکز میشود، لامپ داغتر میشود. طلا وظیفه خود را انجام میدهد و گرما را به سمت هدف هدایت میکند، اما سیمهای داخل لامپ نیز تحت فشار قرار میگیرند.
باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده لامپ، واقعاً کارایی لازم را دارد. اگر جریان هوا ضعیف باشد، لوله کوارتز دچار گرمای بیش از حد خواهد شد و شما مجبور خواهید بود لامپها را خیلی زود تعویض کنید. حتماً دمای سطح لامپ را تحت نظر داشته باشید تا لامپها زودتر خراب نشوند.
تأثیر این موضوع بر فرآیند شما چیست؟
این لامپها امکان رسیدن به دماهای دقیق روی ویفر را فراهم میکنند، بدون نیاز به استفاده از مناطق گرمایشی بزرگ.
و بهترین بخش این است که معمولاً میتوانید آنها را با توان متوسط کمتری راهاندازی کنید. شما همان نتیجه گرمایشی را خواهید داشت، اما با تلاش کمتر.
فقط یک نکته: سطح طلا را تمیز نگه دارید. اگر آلودگی یا اکسیداسیون روی پوشش طلا ایجاد شود، کارایی منعکسسازی کاهش مییابد؛ این امر باعث ایجاد نقاط گرم در لوله میشود. فقط سطح منعکسکنندهها را تمیز نگه دارید تا توزیع گرما به خوبی انجام شود.