Arrêtez de gaspiller de la chaleur dans vos fours pour pièces propres
Si vous chauffez des wafer de semi-conducteurs, vous savez à quel point chaque watt est important. Le problème, c’est que les chauffages infrarouges standard perdent beaucoup d’énergie dans les parois du four, ce qui ne sert absolument à rien pour votre processus de fabrication.
Nous avons trouvé une solution meilleure : nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or pour capter cette radiation infrarouge et la diriger directement vers les wafer.
Pourquoi l’or ?
Ce n’est pas pour l’apparence, mais plutôt à cause des propriétés de réflexion de l’or. L’or est bien plus efficace pour refléter les rayons infrarouges à longue et moyenne longueur d’onde que l’aluminium ou l’acier poli. Nous appliquons une fine couche d’or sur le réflecteur afin de capturer les photons qui, sinon, disparaîtraient simplement.
Le résultat ? Un flux de chaleur beaucoup plus précis. Vos wafer atteignent la température souhaitée plus rapidement, sans avoir besoin d’augmenter considérablement la puissance du système électrique.
La difficulté
Le problème, c’est que lorsque l’énergie est concentrée de cette manière, on obtient une densité thermique très élevée. Cela permet de réduire le temps de chauffage, mais cela laisse peu de marge d’erreur. Si l’alignement de la lampe n’est pas parfait, des points chauds peuvent apparaître. C’est pourquoi il est essentiel que les contrôleurs PID soient calibrés avec précision. Si le réflecteur est trop agressif, les bords des wafer peuvent être endommagés. Nous passons beaucoup de temps à ajuster la courbure de la surface en or afin que la chaleur se répartisse uniformément sur tout le disque. C’est un vrai équilibre à trouver.
Fonctionnement en environnement propre
Ces chauffages sont conçus pour fonctionner dans des conditions réelles. Nous utilisons des matériaux qui ne libèrent pas de gaz ni de particules lorsqu’ils sont chauffés.
Le meilleur aspect ? Comme le revêtement en or rend l’énergie beaucoup plus efficace, il est souvent possible d’utiliser des lampes à faible puissance pour obtenir les mêmes résultats. C’est un grand avantage pour le système de climatisation de votre usine, car vous ne gaspillez plus d’énergie inutilement. Une dernière indication : vérifiez bien vos câblages. Assurez-vous qu’ils peuvent supporter le courant requis par le système infrarouge, afin d’éviter des baisses de tension sur de longues distances.