מנורה אינפרא אדום ללא אוזון

על רצפת הליתוגרפיה, פרופיל הפוטורזיסט נקבע לפני החשיפה עצמה. סטייה של חצי מעלה במהלך אפייה רכה או אפייה קשה משבשת את התקציב התרמי, ובכך פוגעת בשליטה...