Hentikan kebiasaan memanaskan kompartemen mesin secara langsung: Cara yang lebih baik untuk memanaskan wafer
Saat memanaskan wafer, yang diinginkan adalah agar energi panasnya sampai tepat pada permukaan wafer tersebut. Energi panas tersebut seharusnya tidak sampai ke dinding-dinding mesin.
Masalahnya adalah, lampu inframerah biasa mengeluarkan panas ke segala arah, yaitu 360 derajat. Di ruang semikonduktor yang sempit, hal ini akan menyebabkan masalah serius. Dinding-dinding bagian dalam mesin akan berfungsi seperti “espon” yang menyerap panas, sehingga terciptalah daerah-daerah yang sangat panas. Hal ini dapat merusak komponen-komponen dalam mesin, atau bahkan membahayakan operator yang menyentuh bagian yang salah dari mesin tersebut.
Mengarahkan panas dengan tepat
Inilah fungsi dari lampu inframerah yang dirancang khusus. Alih-alih hanya menggunakan tabung kuarsa biasa, kita menggunakan reflektor dan lapisan khusus untuk mengarahkan pancaran panas ke permukaan wafer. Dengan cara ini, energi panas tidak akan terbuang sia-sia ke dinding-dinding mesin. Akibatnya, wafer akan mencapai suhu yang diinginkan, sementara bagian luar mesin tetap cukup dingin untuk disentuh.
Jarak yang ideal
Menentukan jarak yang tepat antara lampu dan wafer merupakan hal yang membutuhkan keahlian tertentu. Jika jaraknya terlalu dekat, maka akan terjadi fenomena “hot spot”, yaitu permukaan wafer menjadi terlalu panas. Sebaliknya, jika jaraknya terlalu jauh, intensitas panasnya tidak akan cukup untuk meningkatkan suhu wafer secara cepat.
Kita biasanya menentukan jarak yang ideal dengan melihat daya lampu dan gradien suhu yang diinginkan. Yang penting adalah adanya cukup ruang agar pancaran panas dapat tersebar merata di seluruh permukaan wafer.
Kekurangan metode ini
Namun, metode ini bukanlah solusi yang sempurna. Ada beberapa kekurangan. Karena pancaran panas difokuskan ke satu titik, densitas panas di titik fokus akan sangat tinggi. Jika kontroler PID tidak disetel dengan benar, suhu wafer akan melebihi batas yang diinginkan.
Selain itu, pastikan reflektor tetap bersih. Sedikit debu atau sisa bahan kimia sebenarnya tidak berbahaya, tetapi bisa menyebabkan pancaran panas menjadi tidak merata. Jika hal ini terjadi, maka masalah “heat soak” akan kembali muncul.