오존 프리 적외선 램프

리소그래피 플로어에서는 노출 전에 포토레지스트 프로파일이 설정된다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중 0.5도 정도의 온도 변동만으로도 열 예산이 어긋나며, 이에 따라 치수 제어가 흔들린다. 당사는 오존이 발생하지 않는 적외선 램프를 개발하여 온도 변동을 즉시 차...