진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터

악몽을 막아내기: 히터가 고장 났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 고부하의 반도체 생산 환경에서는 램프가 고장 나는 것은 단순히 생산이 중단되는 문제가 아닙니다. 그것은 재앙입니다. 진공 챔버 내부의 석영관이 파손되면, 단순히 부품이 고장난 것뿐만 아니라, 유리...