무연 납땜웨이퍼 예열기
생산 라인에서는 시간이 언제인지는 중요하지 않습니다. 예열 과정에서 약간의 오차가 발생한다면, 그로 인해 납땜 결함이나 정렬 오류, 포토레지스트의 품질 저하가 발생할 수 있습니다. 따라서 웨이퍼를 예열할 때는 열적 한계를 반드시 고려해야 합니다. 즉, 열적 한계를 단...
오존 프리 적외선 램프
리소그래피 플로어에서는 노출 전에 포토레지스트 프로파일이 설정된다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중 0.5도 정도의 온도 변동만으로도 열 예산이 어긋나며, 이에 따라 치수 제어가 흔들린다. 당사는 오존이 발생하지 않는 적외선 램프를 개발하여 온도 변동을 즉시 차...