웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

웨이퍼를 가열할 때의 문제점 웨이퍼를 가열할 때는 에너지가 웨이퍼 자체에만 전달되어야 합니다. 기계의 벽면에 에너지가 쏠리면 안 됩니다. 문제는 일반적인 적외선 램프들은 열을 모든 방향으로 방출한다는 것입니다. 좁은 반도체 처리실에서는 이런 상황이 재앙을 초래할 수...