매트슨 RTP 램프 교체

제조 공정에서, 소프트 베이크나 하드 베이크 중에 설정된 온도가 일정하지 않으면 공정이 제대로 진행되지 않을 수 있습니다. 포토레지스트의 성능이 저하되고, CD 제어도 어려워지며, 에칭 과정에서의 선택성도 떨어집니다. 만약 램프가 제 역할을 하지 못한다면, 공정이 끝...