니콘 스테퍼 램프 교체

리소그래피 공정에서 램프는 단순한 소모품 이상의 역할을 합니다. 램프는 모든 소프트 베이크 및 하드 베이크 공정에서 열을 조절하는 역할을 하며, 포토레지스트의 프로필을 결정하는 중요한 요소입니다. 램프의 출력이 변동하면 열적 균일성이 깨지고, 노출 범위가 줄어들며,...