클래스 100급 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100급 환경에서 진공 챔버를 가열할 때는 끔찍한 상황이 발생할 수 있습니다. 아주 작은 먼지 한 톨이나 가스가 조금만 새어 나와도 웨이퍼나 광학 코팅이 망가질 수 있습니다. 정말 답답한 일입니다. 대부분의...

악몽을 막아내기: 히터가 고장 났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 고부하의 반도체 생산 환경에서는 램프가 고장 나는 것은 단순히 생산이 중단되는 문제가 아닙니다. 그것은 재앙입니다. 진공 챔버 내부의 석영관이 파손되면, 단순히 부품이 고장난 것뿐만 아니라, 유리...