클래스 100급 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100급 환경에서 진공 챔버를 가열할 때는 끔찍한 상황이 발생할 수 있습니다. 아주 작은 먼지 한 톨이나 가스가 조금만 새어 나와도 웨이퍼나 광학 코팅이 망가질 수 있습니다. 정말 답답한 일입니다. 대부분의 일반적인 가열 요소들은 이러한 상황에 적합하지 않습니다. 안정적으로 작동해야 할 순간에 그 요소들이 부서지거나 휘발성 유기 화합물을 방출하기 때문입니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 인프라레드 램프를 사용합니다.
비결은 바로 석영에 있습니다.
우리는 거의 불순물이 없는 융합된 실리카를 사용합니다. 왜냐하면 온도가 계속 변동할 때 재료가 손상되어서는 안 되기 때문입니다. 일반적인 유리는 그런 압력에 견디지 못하고 깨져버립니다. 하지만 이 석영은 열을 받아도 거의 팽창하지 않습니다. 그래서 안정적으로 버틸 수 있습니다.
또한, 조립 과정에서 모든 유기성 결합제와 접착제를 제거했습니다. 접착제나 충전제가 전혀 없으므로, 램프가 작동 온도에 도달했을 때 이상한 연기나 가스가 발생하지 않습니다.
진공 환경에서의 문제점
문제는 진공 상태에서는 대류에 의한 냉각이 불가능하다는 것입니다. 열을 전달할 공기가 없으므로 모든 것이 복사에 의해 이루어집니다.
그래서 우리는 고출력 밀도를 가진 램프를 설계했습니다. 이를 통해 챔버 벽이 과열되는 것을 방지할 수 있습니다. 하지만 전원 공급에는 주의해야 합니다. 전압을 정확히 맞춰야 합니다. 고출력 램프를 과도하게 사용하면 필라멘트가 손상될 수 있습니다. 전극에서 발생하는 열을 식힐 공기가 없으므로, 열은 그대로 남아 있어서 결국 무언가가 파손될 수 있습니다.
설치 방법
연결 부위에서 산화가 일어나는 것을 방지하기 위해, 우리는 금도금된 접점과 정밀하게 가공된 엔드캡을 사용합니다. 이러한 부품들은 기존의 램프를 간단히 교체할 수 있도록 설계되었습니다.
하지만 한 가지 주의할 점이 있습니다. 석영은 화학적으로는 강하지만, 물리적으로는 매우 연약합니다.
절대로 유리에 손을 대지 마세요. 설치할 때 단 한 번의 지문만으로도 작은 스트레스가 생길 수 있습니다. 지금은 보이지 않을 수 있지만, 램프가 1000°C에 도달하면 그곳에서 문제가 생길 것입니다. 반드시 먼지가 없는 장갑을 착용하고 통제된 환경에서 작업해야 합니다. 그렇게 하면 수율이 훨씬 좋아질 것입니다.