산업용 패브 히터 교체

공정 현장에서 베이크 프로파일이 미세하게 벗어나더라도 즉각적으로 눈에 띄지 않는다. 하지만 이는 치명적인 치수 편차를 초래하고, 포토레지스트를 태우며, 스크랩 발생을 증가시킨다. 기존 히터가 웨이퍼 전반에 걸쳐 균일성을 유지하지 못할 때, 임시방편은 해결책이 아니다....