Meer warmte op de plekken waar het echt nodig is
Wanneer je wafers wilt drogen, wil je geen energie verspillen. Het is simpel: je wilt dat al die infraroodenergie rechtstreeks op het substraat terechtkomt, zodat deze niet naar het apparaat zelf of de ruimte eromheen gaat.
De meeste mensen beginnen met aluminium, en dat weerspiegelt inderdaad wat warmte. Maar als je echt optimale resultaten wilt behalen voor kortegolf- en middenfrequente infraroodstraling, dan is goud de oplossing. Hierdoor wordt wel 98% van de energie weerkaatst.
Waarom dit belangrijk is:
Lampen werken niet efficiënt: ze stralen energie in alle richtingen uit, ook naar plekken waar deze niet nodig is. Een goudbeschermd reflector vangt deze energie op en stuurt deze weer terug naar de wafer.
Het gaat hierbij niet alleen om een lichte verbetering in efficiëntie. Je verhoogt feitelijk het aantal watts per vierkante centimeter dat op het doel bereikt wordt. Het beste van alles? Je kunt de totale vermogensvan de lamp verminderen, terwijl de wafer nog steeds op dezelfde temperatuur blijft.
Er is echter één nadeel:
Ze zijn ontworpen om in kleine ruimtes te passen. Hoewel de concentratie van warmte enorm is, wordt de behuizing hierdoor onder grote druk gezet. Als je de hoeveelheid teruggekaatste energie verhoogt, moet je ervoor zorgen dat de koelventilatoren of waterkoelingssystemen dit aankunnen. Anders kunnen de connectoren beschadigen en gaan de lampen sneller kapot.
Hoe het er in de praktijk uitziet:
Zodra je een systeem met een goudbeschermd reflector hebt geïnstalleerd, merk je meteen het verschil in snelheid. Het is erg snel. Omdat de energie zo goed geconcentreerd is, hoeft de wafer minder tijd in de verhittingszone door te brengen. Dit lost het probleem op dat de randen van de wafer te snel drogen, terwijl het midden nog moet opwarmen.
Eén tip: houd het schoon.
Ik kan dit niet genoeg benadrukken: zelfs een klein beetje stof of restanten op het gouden oppervlak kunnen de effectiviteit van de reflector verminderen. Dan ontstaan er hete punten op de wafers, waardoor het systeem niet meer goed werkt. Houd dus een strikt schoonmaakplan aan.