Hoe houd je een Class 100-ruimte echt schoon?
Als je een vacuümkamer in een Class 100-omgeving verwarmt, weet je waarschijnlijk al wat het probleem is: één klein stofdeeltje of een beetje uitstoot van organische stoffen kan al voldoende zijn om je chips of optische coatingën te beschadigen. Dat is frustrerend. De meeste standaardverwarmingselementen zijn niet geschikt voor dit doel; ze breken af of geven schadelijke organische stoffen af op het moment dat ze juist stabiel moeten blijven.
Daarom gebruiken we infraroodlampen gemaakt van hoogzuiver synthetisch kwarts.
Het geheim zit in het kwarts zelf.
We gebruiken gesmolten silica met bijna geen onzuiverheden. Waarom? Omdat het materiaal dan niet kan breken wanneer de temperatuur steeds verandert. Standaardglas zou onder zulke drukken breken. Maar dit kwarts zwelt nauwelijks op wanneer het heet wordt. Het blijft dus stabiel.
We hebben ook alle organische bindmiddelen en lijmstoffen uit het apparaat gehaald. Geen lijm, geen vulstoffen. Hierdoor zal er geen rook ontstaan wanneer de lamp zijn werktemperatuur bereikt in een vacuüm.
Omgaan met het vacuüm
Het lastige is dat je in een vacuüm geen convectieve koeling hebt. Er is geen lucht die de hitte kan wegvoeren; alles gebeurt dus door straling. We ontwerpen deze lampen met een hoge vermogensdichtheid. Hierdoor kun je de gewenste temperatuur bereiken, zonder dat de wanden van de kamer beschadigen. Je moet echter goed opletten met de stroomvoorziening. Pas de spanning precies aan. Als je een lamp met een hoge vermogen te veel belast, zal de gloeidraad kapotgaan. Omdat er geen lucht is die de overtollige warmte van de elektroden kan wegnemen, blijft de warmte hangen tot er iets kapotgaat.
Installatie
Om te voorkomen dat de verbindingen gaan oxideren, gebruiken we goudplaatte contactpunten en precisiebewerkte eindkapjes. Ze zijn ontworpen als eenvoudige vervangingen voor de bestaande lampen.
Eén waarschuwing: kwarts is chemisch sterk, maar fysiek gezien is het kwetsbaar. Raak het glas absoluut niet aan! Eén vingerafdruk tijdens de installatie kan al een punt van spanning veroorzaken. Je ziet dit misschien nu nog niet, maar zodra de lamp 1000°C bereikt, zal dat punt het geval zijn waar het kapotgaat. Draag dus handschoenen en blijf in de gecontroleerde omgeving. Je productie zal je daarvoor bedanken.