Jak utrzymać pomieszczenie klasy 100 w stanie czystości
W fabrykach półprzewodników nawet jedna cząsteczka kurzu – której nie można nawet dostrzec – może zniszczyć całą partię płytek krzemowych. To prawdziwy koszmar. Dlatego, gdy potrzeba dodania ciepła w środowisku klasy 100, nie można używać zwykłych elementów grzewczych. One bowiem uwalniają gazy i cząsteczki.
Dlatego wybieramy lampy podczerwone z kwarcu o wysokiej czystości.
Dlaczego kwarc jest tak ważny?
Do produkcji tych lamp używamy syntetycznego kwarcu. Jeśli użyjemy tańszego szkła borokrzemianowego, zajdzie efekt „uwolniania gazów” – szkło wtedy uwalnia chemikalia do czystego powietrza. Kwarcowy klosz stanowi szczelną barierę, która chroni żarnik wolframowy oraz gaz halogenowy przed wydostaniem się na zewnątrz. Najlepsze jest to, że ciepło jest emitowane bezpośrednio na cel – bez żadnego kontaktu fizycznego, bez ruchu powietrza oraz bez unoszenia się pyłu.
Projektowanie pod rzeczywiste warunki
W tych urządzeniach zawsze brakuje miejsca, dlatego skupiamy się na wysokiej gęstości mocy. Chcemy, aby urządzenia mogły szybko się nagrzać. Poprzez utrzymanie energii podczerwonej w krótkich falach, ciepło dociera bezpośrednio do podłoża. Nie traci się czasu na ogrzewanie powietrza w komorze, co oznacza, że systemy chłodzące nie muszą pracować nadmiernie intensywnie.
Poświęcamy również dużo czasu na zapewnienie szczelności przewodów. Nawet mała szpara może stać się źródłem zanieczyszczeń. Używamy specjalnych rozwiązań, aby zapewnić szczelność i uniknąć pęknięć przy zmianach temperatury.
Trudności
Kwarc jest doskonały, ale jest kruchy. Dobrze znosi wysokie temperatury, ale nie lubi być naciskany lub wstrząsany. Porada: nie zaciskaj zbyt mocno mocowań. Jeśli nie będzie wystarczająco dużo miejsca na rozszerzanie się rury wraz ze wzrostem temperatury, rura może pęknąć. Musisz zachować odpowiednią odległość.
I jeszcze jedno: ponieważ te lampy generują bardzo silne ciepło, mogą uszkodzić organiczne powłoki, jeśli płytki będą zbyt blisko. Upewnij się, że odległość focalna jest dostosowana do mocy lampy, aby uniknąć uszkodzenia powierzchni płytek.