
Pare de desperdiçar calor nos fornos das salas limpas
Se você está aquecendo waferes semicondutores, sabe que cada watt é importante. O problema é que os aquecedores infravermelhos convencionais permitem que grande parte da energia seja perdida nas paredes do forno, sem gerar nenhum benefício para o processo.
Encontramos uma solução melhor. Usamos refletores revestidos de ouro para capturar essa radiação infravermelha e direcioná-la exatamente para onde ela precisa ir: sobre os waferes.
Por que ouro?
Não se trata de aparência, mas sim da maneira como a luz é refletida. O ouro é muito mais eficaz em refletir radiação infravermelha de ondas longas e médias do que o alumínio ou o aço polido. Aplicamos uma camada fina de ouro no revestimento do refletor, para capturar os fótons que, caso contrário, seriam perdidos.
O resultado é um fluxo de calor muito mais eficiente. Os waferes atingem a temperatura desejada mais rapidamente, e não é necessário aumentar a potência do fornecimento de energia para isso.
A parte complicada
Quando se concentra energia dessa maneira, há uma grande densidade de calor. Isso é ótimo para reduzir o tempo de aquecimento, mas também limita as possibilidades de erro. Se o alinhamento da lâmpada estiver errado, mesmo que por alguns milímetros, podem surgir pontos quentes perigosos.
Por isso, os controladores PID precisam ser ajustados com precisão. Se o refletor for muito intensivo, pode danificar as bordas dos waferes. Passamos muito tempo ajustando a curvatura da superfície de ouro, para que o calor se distribua uniformemente pelo disco inteiro. É preciso encontrar um equilíbrio.
Funcionamento nas salas limpas
Esses aquecedores foram projetados para funcionar em condições reais. Usamos materiais que não liberam gás nem partículas quando aquecem.
O melhor de tudo é que, graças ao revestimento de ouro, a energia é utilizada de maneira muito mais eficiente. Assim, é possível usar lâmpadas de menor potência e obter os mesmos resultados. Isso é uma grande vantagem para o sistema HVAC da sua instalação, pois não há necessidade de desperdiçar calor na sala.
Atenção: verifique bem os cabos elétricos. Certifique-se de que eles conseguem suportar a corrente específica exigida pelo aquecedor, para evitar quedas de tensão ao longo dos cabos.