Mantendo sua câmara limpa em nível Class 100 realmente limpa
Se você estiver aquecendo uma câmara de vácuo em um ambiente de nível Class 100, você já sabe qual é o problema: um único grão de poeira ou até mesmo um leve vazamento de gases podem destruir seus wafers ou revestimentos ópticos. É frustrante. A maioria dos elementos de aquecimento convencionais não foi projetada para esse tipo de uso; eles se desgastam ou liberam compostos orgânicos voláteis exatamente quando é necessário que eles permaneçam estáveis.
É por isso que optamos por lâmpadas infravermelhas feitas de quartzo sintético de alta pureza.
O segredo está no quartzo.
Usamos sílica fundida com quase zero impurezas. Por quê? Porque, quando as temperaturas mudam constantemente, o material não pode se decompor. O vidro comum simplesmente se quebra sob esse tipo de pressão. Mas o quartzo mal se expande quando fica quente. Ele simplesmente resiste.
Também removemos todos os adesivos e materiais orgânicos do conjunto da lâmpada. Sem colas, sem enchimentos. Isso significa que não haverá emissões de fumaça ou gases estranhos quando a lâmpada atingir sua temperatura de operação no vácuo.
Lidando com o vácuo.
Aqui está a parte complicada: no vácuo, não há ar para transferir o calor. Tudo acontece por meio da radiação.
Projetamos essas lâmpadas com alta densidade de poder. Isso permite que você atinja a temperatura desejada sem danificar as paredes da câmara. Mas é preciso ter cuidado com a fonte de energia. É necessário usar a tensão correta. Se você sobrecarregar a lâmpada, o filamento será danificado. Como não há ar para tirar o calor dos elétrodos, o calor permanece lá até que algo quebre.
Instalando as lâmpadas.
Para evitar que os pontos de conexão oxide, usamos contatos banhados a ouro e tampas finamente moldadas. Eles são projetados para substituir facilmente os componentes existentes.
Uma advertência: embora o quartzo seja resistente quimicamente, fisicamente ele é frágil.
Não toque no vidro. Uma simples impressão digital durante a instalação pode causar um ponto de tensão. Você pode não perceber agora, mas, quando a lâmpada atingir 1000°C, é aí que ela vai falhar. Use luvas sem pelúcia e permaneça em um ambiente controlado. Seu rendimento agradecerá.