Por que estamos migrando para lâmpadas infravermelhas de ultra-alta pureza para a produção de semicondutores
Sejamos honestos: os fornos convencionais estão se tornando obsoletos. No mundo da secagem e cura de semicondutores, observamos uma grande mudança em direção ao uso de lâmpadas infravermelhas de ultra-alta pureza.
Não se trata apenas de seguir as regras relacionadas à ausência de chumbo e à sustentabilidade – embora isso também seja importante. Trata-se de como o calor é transmitido. Em vez de aquecer todo o ar ao redor do substrato, as lâmpadas infravermelhas utilizam radiação eletromagnética para aquecer diretamente o substrato.
Não há mais necessidade de desperdiçar energia aquecendo grandes volumes de ar só para secar um wafer.
A magia do calor instantâneo
O interessante é que essas lâmpadas utilizam um filamento de tungstênio dentro de um invólucro de quartzo de alta pureza. Quando você liga a lâmpada, ela libera um calor concentrado imediatamente.
Ligação instantânea. Não há necessidade de esperar que a câmara se aqueça. Isso representa uma grande economia de energia. Você não gasta quilowatts para aquecer as paredes da máquina ou o ar ao seu redor; a energia é direcionada exatamente para onde é necessária.
Manter tudo limpo
Se você segue os padrões sem chumbo, sabe o quanto pode ser problemático a liberação de gases. Os aquecedores antigos costumam usar ligas ou revestimentos que podem se desgastar ou liberar gases quando aquecidos. Isso é um problema grave quando se trabalha com wafers.
Nós utilizamos quartzo sintético com quase zero impurezas. Assim, o ambiente permanece limpo. Sem combustão, sem solventes perigosos e sem emissões de carbono no local de trabalho. É simplesmente mais limpo.
Os desafios técnicos
Mas não é tão simples assim. Essas lâmpadas geram muito calor em um espaço pequeno. Portanto, você precisa pensar bem nos sistemas de resfriamento. Se você não dimensionar corretamente os sistemas de resfriamento, pode acabar danificando os suportes da lâmpada. É preciso equilibrar tudo com cuidado.
E uma dica sobre os cabos: use cabos blindados para altas temperaturas. Você não quer que interferências eletromagnéticas afetem seus sensores sensíveis. É um detalhe pequeno, mas pode evitar muitos problemas no futuro.