Mantendo sua sala limpa de classe 100 realmente limpa
No mundo das fábricas de semicondutores, um único grão de poeira – algo que nem se consegue ver – pode estragar todo um lote de wafers. É um pesadelo. Portanto, quando é necessário gerar calor em um ambiente de classe 100, não se pode usar simplesmente um elemento de aquecimento comum. Esses elementos liberam gases e partículas em grande quantidade.
É por isso que usamos lâmpadas infravermelhas de quartzo de alta pureza.
Por que o quartzo é importante?
Usamos sílica fundida sintética para essas lâmpadas. Se usar vidro de borosilicato, mais barato, você terá problemas com a liberação de substâncias químicas pelo vidro, o que acaba poluindo o ar limpo do ambiente.
O invólucro de quartzo funciona como um selo hermético, mantendo o filamento de tungstênio e o gás halógeno lá dentro. O melhor de tudo é que o calor é transmitido diretamente para o alvo. Não há contato físico, nem ar circulando, e nenhuma poeira é levantada.
Projeto pensado para o mundo real
O espaço nessas ferramentas é sempre limitado, então nos concentramos em obter alta densidade de potência. Queremos que essas lâmpadas atinjam alta temperatura rapidamente.
Ao manter a energia infravermelha em faixas de onda curta, o calor atinge diretamente o substrato. Isso evita que o ar dentro da câmara seja aquecido desnecessariamente, o que significa que os sistemas de resfriamento não precisam trabalhar tanto.
Também dedicamos muito tempo aos selos dos fios de conexão. Uma pequena falha no selo pode permitir a entrada de contaminantes. Usamos vidro fundido para garantir que o selo permaneça intacto, mesmo quando a temperatura muda.
As dificuldades
O quartzo é ótimo, mas é frágil. Ele consegue suportar bem o calor, mas não tolera impactos ou vibrações.
Dica: não aperte demais os suportes de montagem. Se não houver espaço para que o tubo se expanda ao esquentar, ele pode quebrar. É preciso deixar um pequeno espaço entre eles.
Outra coisa importante: como essas lâmpadas são muito intensas, elas podem danificar revestimentos orgânicos caso a distância entre a lâmpada e o wafer seja muito pequena. Verifique sempre a distância focal com base na potência da lâmpada, para evitar danos à superfície do wafer.